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真空爐
真空爐是指在真空環境中進行加熱的設備。在金屬罩殼或石英玻璃罩密封的爐膛頂用管道與高真空泵系統聯接。爐膛真空度可達133×(10-2～10-4)h。真空爐的爐內加熱系統可直接用電阻爐絲(如鎢絲)通電加熱，也可用高頻感應加熱。真空爐的溫度可達3000℃左右。主要用于陶瓷燒成、真空冶煉、電真空零件除氣、退火、金屬件的釬焊，以及陶瓷-金屬封接等。
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